الأول هو وفقا للهيكل يمكن تقسيمها إلى مضخة فراغ الميكانيكية ومضخة فراغ طائرة. يشار إلى جميع الحركات الميكانيكية (الدوارة أو المنزلقة) المستخدمة في معدات التفريغ المختلفة لتغيير حجم حاوية شفط المضخة ومضخة التفريغ بمضخات التفريغ الميكانيكية. تعمل مضخة التفريغ ذات الحجم الميكانيكي على تغيير حجم عمل غرفة المضخة من خلال الحركة الميكانيكية لتحقيق تأثير مضخة التفريغ ذات الحجم الميكانيكي. تشمل هذه المضخات مضخات التفريغ الترددية ، المضخات الميكانيكية الدوارة (بما في ذلك المضخات الدوارة ، المضخات اللولبية ، المضخات الجذرية ، المضخات ذات الحلقة السائلة ، إلخ). يستخدم هذا النوع من المضخة بالإضافة إلى المضخة الميكانيكية.
ثانيًا ، وفقًا لمبدأ العمل ، يمكن تقسيمها إلى مضخة تفريغ توصيل الغاز ومضخة تفريغ الغاز. مضخة توصيل الغاز هي هدف يسمح بسحب الغاز والخروج منه باستمرار للوصول إلى مضخة الشفط. هناك نوعان من مضخات التفريغ: مضخات التفريغ ذات الحجم المتغير ومضخات نقل الزخم. مضخة ملاءمة الغاز عبارة عن مضخة فراغية تمتص أو تكتل جزيئات الغاز على السطح الداخلي للمضخة ، مما يقلل من كمية جزيئات الغاز في الحاوية ويحقق الغرض من الشفط. مضخات تفريغ مكبس ، مضخات تفريغ دوارة ، مضخات تفريغ ، مضخات تفريغ لولبية ، مضخات تفريغ ، مضخات حقن مضخة الانتشار والعديد من الأنواع الأخرى النموذجية.
